序号

分项名称

主要技术参数

单位

数量

1

扫描电子显微镜

1.1.电子光学系统

1)电子枪：(略)

2)分辨率：(略)

3)加速电压范围：(略)

4)放大倍数范围：(略)

5)电子束束流：(略)

6)束斑：(略)

1.2.真空系统

1)涡轮分子泵1台；

2)机械泵1台；

3)真空控制：(略)

4)真空电机，不需要穿过真空舱，防止污染仓体，无密封件等消耗品；

5)样品仓真空度：(略)

1.3.样品仓及样品台

1)样品台：(略)

2)样品台行程：(略)

1)样品仓容积：(略)

2)最大样品尺寸：(略)

3)样品台承重：(略)

4)可扩展附件接口数量≥(略)个；

1.4.附件

1)探测器配置：(略)

2)喷金仪

1.5.软件和图像显示

1)图像显示：(略)

2)图像保存：(略)

3)可集成第三方探测器信号输入，并在软件上进行成像；

4)MIX模式，根据不同通道的信号进行混合成像；

5)标配彩色CCD相机的光学导航功能；

6)测量功能：(略)

7)自动调整功能：(略)

8)配套计算机配置不低于：(略)

9)显示器：(略)

1.6.电源

1)配备UPS电源

1.7.耗材

1)(略).5 mm样品钉台1盒（(略)个）；

2)钉型样品台存储盒，1盒（5个）；

3)导电碳胶带1卷（宽8 mm，长(略) m）；

4)预对中钨灯丝1盒（6支）；

1.8.售后服务

1)售后质保期≥一年，质保期外更换零部件只收取成本费、免人工费；

台

1

2

能谱仪

①硅漂移（SDD）电制冷探测器，电动进出。采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，单支芯片面积≥(略)mm2，有效面积≥(略)mm2，超薄窗设计，独立真空；采用纤细化等技术提高固体角，探测器探指直径≤(略)mm，改善系统分析效率；

②能量分辨率：(略)

③谱峰实时显示：(略)

④处理单元与计算机采用分立式设计，系统最大输入计数率≥(略)kcps，输出计数率(略)kcps

⑤元素分析范围：(略)

⑥谱峰稳定性：(略)

⑦谱定性分析：(略)

⑧定量分析：(略)

台

1