[杭州市]浙江五石工程咨询有限公司关于浙江大学国际联合学院（海宁国际校区）双束聚焦离子刻蚀系统采购项目的更正公告

2019-12-16 浙江--

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所在地区：

浙江--

发布日期：

2019年12月16日

变更公告正文

一．采购人名称：
浙江大学国际联合学院（海宁国际校区）
二．采购项目名称：
双束聚焦离子刻蚀系统采购项目
三．采购项目编号：
ZJWSBJ-ZJU-(略)(略)G
四．原采购公告发布日期：
(略)9年12月5日
五．更正理由：

采购人要求
六．更正事项：

序号

更正事项

更正前内容

更正后内容

第二章采购需求-一、采购内容及要求-（三）具体技术要求-2、具体参数说明

▲5.1 样品室内部尺寸不小于(略) mm (宽) × (略) mm (深) × (略) mm (高)；

▲5.2 六轴高精度超优中心全自动马达样品台或者五轴全压电陶瓷高精度马达台，如为五轴样品台，其XY方向重复精度（XY repeatability）不大于1微米；

▲5.4 具有样品预交换室，可放置样品最大尺寸不小于(略)mm；且配备交换腔导航相机

★5.1 样品室内部尺寸不小于(略) mm (宽) × (略) mm (深) × (略) mm (高)；

★5.2 六轴高精度超优中心全自动马达样品台或者五轴全压电陶瓷高精度马达台，如为五轴样品台，其XY方向重复精度（XY repeatability）不大于1微米；

★5.4 具有样品预交换室，可放置样品最大尺寸不小于(略)mm；且配备交换腔导航相机

开标时间

(略)-(略)-(略) (略):(略)：(略)（北京时间）

七．其他事项：
无
八．采购代理机构联系方式如下：
1.采购人名称：(略)

联系人：路老师

联系电话：0(略)-(略)

地址：(略)

2.代理机构名称：(略)

项目联系人：(略)

联系电话：(略)

地址：(略)

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