序号

名称

技术参数和规格型号

数量

单位

单价

合计价

列入优先采购和强制采购品目清单情况（优先采购或强制采购）

备注

1

化学机械抛光机

A粗磨研磨机性能：

*1.研磨盘外径不低于(略)mm；

*2.最大转数不低于(略)rpm；

*3.采用精密机械主轴，主轴马达功率不小于7.5KW；

4、主电机 7.5Kw (略)V 3相；

5、水冷机构 盘面同步旋转冷水；

*6、加工晶片尺寸4inch；

*7、上盘气缸 Φ(略)*(略)mm行程；

8、操作面板 液晶触屏式面板 彩色；

9、控制系统 PLC控制；

*(略)、强行驱动马达 (略)W 独立式 最大旋转数(略)rpm；

*(略)、摆动马达 (略)W 运动式行程可调；

*(略).加工粗糙度不高于(略)nm。

B细磨研磨机性能：

1.研磨盘外径不低于(略)mm；

2.最大转数不低于(略)rpm；

3.主轴马达功率不小于3.5KW；

4、主电机 7.5Kw (略)V 3相；

*5、强行驱动马达功率不低于(略)W，最大旋转数不小于(略)rpm；

*6.加工粗糙度不高于(略)nm。

1

套

序号

名称

技术参数和规格型号

数量

单位

单价

合计价

列入优先采购和强制采购品目清单情况（优先采购或强制采购）

备注

1

化学机械抛光机

A粗磨研磨机性能：

*1.研磨盘外径不低于(略)mm；

*2.最大转数不低于(略)rpm；

*3.采用精密机械主轴，主轴马达功率不小于7.5KW；

4.主电机 7.5Kw (略)V 3相；

5.水冷机构 盘面同步旋转冷水；

6.加工晶片尺寸4inch；

*7.上盘气缸 Φ(略)*(略)mm行程；

8.操作面板 液晶触屏式面板 彩色；

9.控制系统 PLC控制；

*(略).强行驱动马达 (略)W 独立式 最大旋转数(略)rpm；

*(略).摆动马达 (略)W 运动式行程可调；

*(略).加工粗糙度不高于(略)nm。

B细磨研磨机性能：

1.研磨盘外径不低于(略)mm；

2.最大转数不低于(略)rpm；

3.主轴马达功率不小于3.5KW；

4.主电机 7.5Kw (略)V 3相；

*5.强行驱动马达功率不低于(略)W，最大旋转数不小于(略)rpm；

*6.加工粗糙度不高于(略)nm。

1

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