一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：(略)
原公告的采购项目名称：(略)
首次公告日期：(略)
二、更正信息
更正事项：(略)
更正内容：
原招标文件：
1、提交投标文件截止时间：(略)
2、第五章 采购需求一览表及要求三、技术要求4. 各部品技术要求
4.1 主机：
#4.1.1 封闭式主机，用于提升小环境洁净度；
4.1.2 配备屏幕显示器，由计算机进行工艺参数设定，具有专用控制软件。软件具有工艺参数设置、设备控制、硬件自我故障诊断与检测功能，触摸屏控制操作方便快捷。
4.2 匀胶系统：
★4.2.1 最大转速：(略)
4.2.2 最大加速度：(略)
★4.2.3 转速精度：(略)
#4.2.4 滴胶范围和精度：(略)
#4.2.5 背面清洗：(略)
4.2.6 夹持方式：(略)
4.2.7 具备胶嘴自动清洗功能；
4.2.8 承片台具备正反转功能。
4.3 显影系统：
★4.3.1 最大转速：(略)
4.3.2 最大加速度：(略)
★4.3.3 转速精度：(略)
#4.3.4 流量控制：(略)
4.3.5 流量控制精度：(略)
4.3.6 夹持方式：(略)
4.4 自动传送系统：
#4.4.1 重复定位精度：(略)
#4.4.2 对中精度：(略)
4.4.3 取片方式：(略)
4.5 加热烘烤系统：
★4.5.1 热盘数量：(略)
★4.5.2 温度控制范围：(略)
#4.5.3 温度控制均匀性：(略)
4.5.4 冷却方式：(略)
4.6 片盒：(略)
4.7 化学品柜：(略)
现更正为：
1、提交投标文件截止时间：(略)
2、第五章 采购需求一览表及要求 三、技术要求 4. 各部品技术要求
4.1 主机：
#4.1.1 封闭式主机，用于提升小环境洁净度；
4.1.2 配备屏幕显示器，由计算机进行工艺参数设定，具有专用控制软件。软件具有工艺参数设置、设备控制、硬件自我故障诊断与检测功能，触摸屏控制操作方便快捷。
4.2 匀胶系统：
★4.2.1 最大转速：(略)
4.2.2 最大加速度：(略)
★4.2.3 转速精度：(略)
#4.2.4 滴胶范围和精度：(略)
#4.2.5 背面清洗：(略)
4.2.6 夹持方式：(略)
4.2.7 具备胶嘴自动清洗功能；
4.2.8 承片台具备正反转功能；
#4.2.9光刻胶管路数量≥2，可满足不同粘度光刻胶使用需求：(略)
4.2.(略) 光刻胶溶剂（solvent）采用单压力罐供液，压力罐容积≥8L；具备过滤功能，过滤精度≤0.2μm。
4.3 显影系统：
★4.3.1 最大转速：(略)
4.3.2 最大加速度：(略)
★4.3.3 转速精度：(略)
#4.3.4 流量控制：(略)
4.3.5 流量控制精度：(略)
4.3.6 夹持方式：(略)
#4.3.7 管路数量≥2，应包含一路碱性显影液，一路去离子水；
4.3.8 碱性显影液采用单压力罐供液，压力罐容积≥8L；具备过滤功能，过滤精度≤0.2μm;
4.3.9 去离子水由采购人提供，去离子水管路应具备过滤功能，过滤精度≤0.2μm。
4.4 自动传送系统：
#4.4.1 重复定位精度：(略)
#4.4.2 对中精度：(略)
4.4.3 取片方式：(略)
4.5 加热烘烤系统：
★4.5.1 热盘数量：(略)
★4.5.2 温度控制范围：(略)
#4.5.3 温度控制均匀性：(略)
4.5.4 冷却方式：(略)
4.5.5 单独配置HMDS（六甲基二硅氮烷）热盘，数量≥1，温度控制范围(略)℃～(略)℃，温度控制均匀性(略)℃～(略)℃±0.8℃、(略).1℃～(略)℃±1.5℃。
4.6 冷盘：
★4.6.1 冷盘数量：(略)
4.6.2 温度控制范围：(略)
4.6.3 温度控制均匀性：(略)
4.7 片盒：(略)
4.8 化学品柜：(略)
4.9 视频监控模块：(略)
#4.(略) 根据工艺需求的预留空间，设备占地面积应≤(略)mm×(略)mm；根据层高及消防要求，设备高度应≤(略)mm。
四、商务条件及其他要求
3.3 验收标准：
3.3.1 涂胶均匀性：(略)
3.3.2 显影均匀性：(略)
3.3.3 传片稳定性：(略)
3.3.4 碎片率：(略)
3.3.5 对符合工艺标准的试剂和去离子水，过滤后0.2μm以上的颗粒增量≤(略)颗。
更正日期：(略)
三、其他补充事宜
本更正公告作为招标文件的组成部分之一，对各相关投标人均具有同等约束力，与招标文件不一致的部分以本公告为准。本公告一经发布，视为投标人已收到。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：(略)
地址：(略)
联系方式：(略)
2.采购代理机构信息
名 称：(略)
地 址：(略)
联系方式：(略)
3.项目联系方式
项目联系人：(略)
电 话：(略)
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