3.2.5后道-光刻工艺台

1.主要功能

涂胶、显影，需适配4英寸晶圆或对应光刻掩膜版。需整片能够正常涂胶显影。

2.★电力

额定电压(略) V，额定功率≤2 kW； 配备插座，插座额定电压(略) V，插座总额定功率≤2 kW

3.★尺寸

内宽：(略)

加柜子外宽<(略) mm；

外深：(略)

内深：(略)

外高：(略)

4.可稳定维持温度范围

热板可维持室温-(略)℃

5.★匀胶机、显影机、热板

3*旋涂匀胶机、1*喷淋匀胶机、4*热板、1*HMDS箱，留出显影空间和清洗空间

6.配件柜配置

须配置一个尺寸为高2m-2.3m，宽(略)cm-(略)cm，深(略)cm-(略)cm的配件柜。

7.计时器配置

须配置一个精确到秒的计时器

8.★废液排放（原液废料）

有机排、碱排到厂务；所有厂务排放均向下（到地面）

9.★废液收集口

有机（含TMAH，连到有机排）、KOH（连到碱排）

(略).★废水（废液+大量水）排放

注：(略)

一般排、有机排、碱排到厂务（一般排水：(略)

(略).★废气排放

有机排、碱排、热排到厂务（每种(略) CMH）；所有厂务排放均向下（到地面）

(略).台面材质

实心，防有机（不锈钢）

(略).空白台面

需要

(略).★厂务DI、N2、市政水、工艺真空需求

DI：(略)

N2：(略)

所有资源接口均向下（到地面）