序号

原条款参数要求

修改后参数要求

1

※1.2 力学性质测量模式：

横向力/摩擦力显微镜；

动态和静态力曲线测试；

纳米压痕/纳米力学映射模式；

磁场力显微技术；静电力显微技术；

高次谐波成像模式；分子力力谱模式；

纳米刻蚀与纳米操纵；

※1.2 力学性质测量模式：

横向力/摩擦力显微镜；

动态和静态力曲线测试；

纳米压痕/纳米力学映射模式；

磁场力显微技术；

静电力显微技术；

分子力力谱模式；

纳米刻蚀与纳米操纵；

2

▲2.高级成像模式：(略)

▲2.高级成像模式：(略)

3

▲3.样品台与稳定性：(略)

3.样品台与稳定性：(略)

4

▲4.扫描器范围：(略)

▲4.扫描器范围：(略)

5

▲5.扫描器噪音与精度：(略)

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6

▲6.大范围扫描稳定性：(略)

6.系统支持实现对超出测量范围的深坑或边缘位置的稳定成像；支持通过预扫描获得的样品粗糙度，来设定 Z 轴动作范围，实现小粗糙度样品的精细测量或大粗糙度样品的稳定测量。

7

▲8.激光光源：(略)

▲8.激光光源：(略)

8

9.检测系统：(略)

9.检测系统：(略)

9

(略).扫描隧道显微镜功能：(略)⁹ V/A，电流检测范围至少覆盖 1 pA-(略) nA。

▲(略).扫描隧道显微镜功能：(略)⁹ V/A，电流检测范围至少覆盖 1 pA-(略) nA。

(略)

▲(略).光学观察系统：(略)

删除

(略)

(略).系统自检功能：(略)

(略).系统自检功能：(略)

(略)

▲(略). 最 高 像 素 采 集 ：(略)

▲(略). 最 高 像 素 采 集 ：(略)

(略)

▲(略).预装 Pre-Mount 探针支架：(略)

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(略)

(略).智能探针识别与校准：(略)

(略).智能探针识别与校准：(略)

(略).控制器：(略)

(略).控制器：(略)

(略)

▲(略).电流特性测量附件：(略)

删除

(略)

▲(略).机械性能测量附件 ：(略)

▲(略).机械性能测量附件：(略)

(略)

▲(略).样品环境控制：(略)

(略).样品环境控制：(略)

(略)

※(略).操作软件：(略)

※(略).操作软件：(略)

(略)

※(略).分析软件：(略)

(略).分析软件：(略)

序号

原条款参数要求

修改后参数要求

1

6.高速控制器 2 套

6.高速控制器 1 套

2

(略).操作软件 2 套

(略).操作软件 1 套

序号

原条款参数要求

修改后参数要求

1

1.起评分：

有效投标人的起评分为 (略) 分。

2.扣分条款：

2.1 投标文件投标应答有一条不满足招标文件重要技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中带“▲”号标注的部分，共(略) 条），从起评分中扣除 3 分，扣完为止。

2.2 投标文件投标应答有一条不满足招标文件一般性技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中“▲”和“※”号标注的部分除外，共 7 条），从起评分中扣除 2 分，扣完为止。

1.起评分：

有效投标人的起评分为 (略) 分。

2.扣分条款：

2.1 投标文件投标应答有一条不满足招标文件重要技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中带“▲”号标注的部分，共 6 条），从起评分中扣除 5 分，扣完为止。

2.2 投标文件投标应答有一条不满足招标文件一般性技术需求的（本招标文件第二篇（一）技术参数中“▲”和“※”号标注的部分除外，共 (略) 条），从起评分中扣除 2 分，扣完为止。